LIGA
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LIGA是德文Lithographie,Galanoformung和Abformung三个词,即光刻、电铸和注塑的缩写。
LIGA工艺是一种基于X射线光刻技术的MEMS加工技术(工艺流程如图所示),主要包括X光深度同步辐射光刻,电铸制模...
GPL
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GPL是GNU General Public License(GNU通用公共许可证);LGPL是GNU Lesser General Public License(GNU宽通用公共许可证)的缩写形式,旧称GNU Library General Pub...